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電子廠房凈化空調改造設計方案

本文在某電子廠房原有的凈化空調工程基礎上,對工藝布置和凈化空調系統提出改造方案,并對方案設計進行了簡樸的先容. 

1  原有凈化空調工程情況 

    1.1  簡況 

    該廠房位于某市開發區,建于1995年,主要出產半導體芯片。廠房共建三層,需改造項目位于二層,系統的平面布置如圖1所示。系統總面積1510m2,  其中空調面積385m2,凈化面積1125m2,凈化級別除黃光室為千級外,其余均為萬級。 

    1.2  系統存在的主要題目 

    (1)廠房內只對千級間黃光室設圍護結構, 

    其余房間均為敞開式,凈化區域與非凈化區混合在一起,系統較為混亂,難以控制和調節,凈化區域的潔凈度不能達到要求; 

    (2)非凈化區域的擴散爐,經測定表面溫度可達50℃,散熱量非常大,在原有設計中存在空調送風量不足題目,造成擴散爐附近區域的溫度高達37℃,并且回風輪回使用,不利于節能; 

    (3)酸洗槽的排風量不足,均勻斷面風速為0.1m/s,酸性物質存留在室內環境中,不能有效地排出,嚴峻影響室內的衛生和出產環境; 

    (4)在廠房潔凈區進口處的風淋室風速為12m/s的要求,需要更換輪回風機。 

    2  改造方案 

    針對系統運行中泛起的的以上情況,經與甲方協商,提出了改造方案。 

    2.1  工藝布置改造方案 

    2.2  凈化空調系統改造方案 

     

    3  改造后的使用效果 

    系統改造后經高度確保每個房間的風量、正壓達到設計要求,在動態下檢測,廠房的潔凈度、溫濕度、噪聲、照度等各項指標均達到設計要求。 

     

    4  結論 

    本工程改造前主要特點表現在系統工藝布置不公道(未對凈化區及非凈化區時行明確劃分)、混用凈化及非凈化區空調系統,不符合“規范”的要求;酸洗槽排風量不足;護散爐區因送風少及未設局排舉措措施導致環境溫度超標;改造后將出產工藝布局做了適當調整,按照規范的要求,對凈化區及非凈化區單獨設置空調系統;加大酸洗槽排風量,同時采用了熱排風回收裝置,對增補新風進行預熱(預冷),節約能源,降低運行用度。建議在今后的空調工程設計中,對于出產環境有要求的工藝,既應該按照出產過程布置工藝,同時還要考慮到有利于空調凈化系統的調節和控制,保證出產環境的可靠性。


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